蒸汽滲透或稱汽體滲透(Vapour Permeation)是膜分離技術的一個重要分支，其原理是以濃度差、分壓差為推動力，利用氣體混合物各組分通過致密膜的溶解與擴散速率不同而使混合物分離，從而實現(xiàn)組分濃縮、富集、純化的目標。
膜法去揮發(fā)性有機物(Volatile Organic Compounds,縮寫VOCs)與空氣或其它不凝氣的分離過程屬于蒸透過程， VOCs氣體比不凝氣通過膜的速率要大得多，在膜的滲透側(cè)，VOCs(包括二氯甲烷等含鹵廢氣)氣體得以冷凝回收；在膜的滲余側(cè)是含微量VOCs 的不凝氣，此過程一次性VOCs回收率在95到98%。
